이온 프로브 분석은 샘플 표면을 폭격하는 고 ​​에너지 1 차 이온 빔입니다. 이들 하전 입자가 질량 분석기에 의해 분리 된 후, 마침내 검출기에 도달하여 샘플 표면의 재료 조성물을 정확하게 분석합니다.